发明名称 Mass flow stabilized
摘要 A mass flow stabilizer utilizes a restriction and a chamber for the dampening of pressure fluctuations between a gas pressure regulator and a mass flow controller.
申请公布号 US4958658(A) 申请公布日期 1990.09.25
申请号 US19870066801 申请日期 1987.06.25
申请人 TEGAL CORPORATION 发明人 ZAJAC, JOHN P.
分类号 F17D1/20;G05D7/00 主分类号 F17D1/20
代理机构 代理人
主权项
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