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<p>Um an einem Targetkörper (1), der in einem Kathodenzerstäubungsprozess zerstäubt wird, anzuzeigen, wenn die Erosion eine bestimmte Tiefe (D) erreicht hat, wird am Targetkörper eine durch primär zu zerstäubendes Material (M1) und Indikationsmaterial (M2) gebildete Unstetigkeitsstelle vorgesehen. Als Messignal wird mit dem Messwandler (11) eine Grösse (s) gemessen, die sich durch die Prozessatmosphäre (P) oder elektrische Speisungen ausbreitet.</p> |
