发明名称
摘要
申请公布号 JPH02113254(U) 申请公布日期 1990.09.11
申请号 JP19890021173U 申请日期 1989.02.23
申请人 发明人
分类号 H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/203;H01L21/302;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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