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发明名称 MAGNETRON SPUTTER DEVICE USING THE SAME POLE PIECE FOR COUPLING SEPARATE CONFINING MAGNETIC FIELD TO SEPARATE TARGETS SUBJECT TO SEPARATE DISCHARGES
摘要
申请公布号 EP0162642(B1) 申请公布日期 1990.09.05
申请号 EP19850303331 申请日期 1985.05.10
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 HUTCHINSON, MARTIN A.
分类号 C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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