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发明名称 DETEKTOR FUER EIN RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DE4004935(A1) 申请公布日期 1990.08.23
申请号 DE19904004935 申请日期 1990.02.16
申请人 GALILEO ELECTRO-OPTICS CORP., STURBRIDGE, MASS., US 发明人 GRAY, JOHN WALTER, WARE, MASS., US
分类号 H01J37/26;G01Q30/02;H01J37/244 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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