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经营范围
发明名称
PLASMA ION SOURCE MASS SPECTROGRAPH
摘要
申请公布号
JPH02204958(A)
申请公布日期
1990.08.14
申请号
JP19890023835
申请日期
1989.02.03
申请人
HITACHI LTD
发明人
OKAMOTO YUKIO;SHIMURA SOJI
分类号
G01N27/62;H01J49/12;H01J49/26
主分类号
G01N27/62
代理机构
代理人
主权项
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