发明名称 PLASMA ION SOURCE MASS SPECTROGRAPH
摘要
申请公布号 JPH02204958(A) 申请公布日期 1990.08.14
申请号 JP19890023835 申请日期 1989.02.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAMOTO YUKIO;SHIMURA SOJI
分类号 G01N27/62;H01J49/12;H01J49/26 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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