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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02203524(A) 申请公布日期 1990.08.13
申请号 JP19890024165 申请日期 1989.02.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIRAI TAKEHIRO;KANDA AKIHIRO;TANAKA MITSUO;FUJITA YOSHIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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