发明名称 MOSGATAOYOBIBAIHOORAGATAHANDOTAISHUSEKIKAIRONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPH0235469(B2) 申请公布日期 1990.08.10
申请号 JP19810072853 申请日期 1981.05.14
申请人 SIEMENS AG 发明人 UORUFUGANGU MYURAA;HANSUIERUKU RAIHIERUTO
分类号 H01L29/78;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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