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发明名称 MANUFACTURE OF MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH02172227(A) 申请公布日期 1990.07.03
申请号 JP19880325894 申请日期 1988.12.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOBAYASHI KEIJI
分类号 H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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