发明名称 FLUID CONTROL VALVE USING PIEZOELECTRIC ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02163580(A) 申请公布日期 1990.06.22
申请号 JP19880314883 申请日期 1988.12.15
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 IIDA KAZUKI
分类号 F16K31/02;H01L41/09 主分类号 F16K31/02
代理机构 代理人
主权项
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