| 摘要 |
一种用以施加光学能量及以选择方式除去基体上所载材料之装置，且较佳之方式为在基体上形成实质上平行之除去材料区域之通道，此装置包括一光学产生器用以产生一主光束中之光学能量，分裂装置用以将主光束分裂成多个导出光束，反射装置用以将每一导出光束反射以形成撞击基体之多个工作光束聚焦透镜用以将每一多个工作光束聚焦于基体上，运送装置用以以横过多个工作光束之方向运送基体，俾于工作光束将基体中实质上成平行通道之材料连续除去，于装置之较佳具体实例中，系使用相位迟滞装置以将导出光束之经过定之光束之矢量方向偏移，俾每一工作光束均有实质上相等强度，一光束扩展器用以将主光束扩散以减少集中于装置光学元件上之能量强度。透镜总成之构形为将工作光束聚焦于基体上而成实质上椭圆形状，椭圆之主轴实质上与基体之运送方向相对准，抽空总成系与每一工作光束有关，以将除掉材料抽去，以防止经除掉之材料沉积于透镜总成上，及防止对工作光束在基体上之聚焦有不良影响。 |
