发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF THIN INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH02140604(A) 申请公布日期 1990.05.30
申请号 JP19890058043 申请日期 1989.03.13
申请人 NANOMETORITSUKUSU INC 发明人 BINSENTO JIEE KOOTSU;WAAREN DABURIYUU RIN
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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