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<P>Un réacteur à plasma comprend une chambre 3, un specimen P tel qu'une tranche ou similaire supporté dans la chambre, un dispositif 2 pour engendrer un plasma dans la chambre, et au moins une bobine électromagnétique 9 disposée coaxialement autour de la chambre 3. Le spécimen P est supporté parallèlement à un champ magnétique engendré par la bobine électromagnétique 9. Des particules chargées de haute densité de haute énergie dans le plasma viennent en collision perpendiculairement à la surface du spécimen P pour traiter le spécimen par gravure ou similaire.</P>
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