发明名称 Semiconductor memory device and a method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 US4926222(A) 申请公布日期 1990.05.15
申请号 US19830545767 申请日期 1983.10.26
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOSA, YASUNOBU;SHIMIZU, SHINJI
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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