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发明名称 DEVICE FOR SEMICONDUCTOR AND INSULATING MATERIALS' PROPERTIES HOMOGENEITY OPTICAL MEASURING
摘要
申请公布号 CS8802201(A1) 申请公布日期 1990.05.14
申请号 CS19880002201 申请日期 1988.03.31
申请人 BURGER ANTONIN RNDR.,CS;BENES PETR RNDR.,CS 发明人 BURGER ANTONIN RNDR.,CS;BENES PETR RNDR.,CS
分类号 G01N21/01;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/01 主分类号 G01N21/01
代理机构 代理人
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