感应耦合等离子体质量分析仪

摘要

本发明的感应耦合等离子体分析仪预先使静电屏蔽装置保持于接地电位，等离子体由于这种静电屏蔽，与感应线圈产生的电场屏蔽隔离，从而保持与静电屏蔽装置几乎相同的接地电位。因此所产生的离子的电压变化得以抑制，同时由等离子体取出的离子的能量也较低，且其能量范围也小，从而使质量分析仪的分辨率得到了改善。另外，在小孔间产生的收缩放电也受到抑制，从而防止了紫外线噪声的产生。

主权项

感应耦合等离子体质量分析仪，其特征在于在产生高频磁场的感应线圈和导入气体溶胶的等离子体吹管之间，设有一用于屏蔽由感应线圈产生的电场的静电屏蔽装置。