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发明名称 VERFAHREN ZUR AUFBRINGUNG VON SCHUTZSCHICHTEN AUS SILIZIUMDIOXID
摘要
申请公布号 DD278335(A1) 申请公布日期 1990.05.02
申请号 DD19880323579 申请日期 1988.12.21
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "ANNA SEGHERS" NEUHAUS IM VEB KOMBINAT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 MATTHAEI,GUENTER,DD;HEUBLEIN,GUENTER,DD
分类号 C03C17/30;C04B41/00;(IPC1-7):C03C17/30 主分类号 C03C17/30
代理机构 代理人
主权项
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