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发明名称 CARBON FILM-COATED MEMBER AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH02104664(A) 申请公布日期 1990.04.17
申请号 JP19880255491 申请日期 1988.10.11
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;HAYASHI SHIGENORI;ISHIDA NORIYA;SASAKI MARI;TAKEYAMA JUNICHI
分类号 B32B7/02;B32B9/00;C23C16/00;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/34 主分类号 B32B7/02
代理机构 代理人
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