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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0247063(U) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880126873U 申请日期 1988.09.28
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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