发明名称 OPTICAL INSPECTION METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 GB9001701(D0) 申请公布日期 1990.03.28
申请号 GB19900001701 申请日期 1990.01.25
申请人 GERSAN ESTABLISHMENT 发明人
分类号 G01N21/84;G01N1/28;G01N1/36;G01N3/00;G01N21/13;G01N21/47;G01N21/85 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
主权项
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