发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0283951(A) 申请公布日期 1990.03.26
申请号 JP19880236025 申请日期 1988.09.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIURA TAKAO;IMAOKA KAZUNORI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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