发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH0284722(A) 申请公布日期 1990.03.26
申请号 JP19880236954 申请日期 1988.09.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FUNEKAWA MICHIHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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