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发明名称
FILM FORMATION BY ELECTRON-BEAM HEATING
摘要
申请公布号
JPH0266166(A)
申请公布日期
1990.03.06
申请号
JP19880215887
申请日期
1988.08.30
申请人
TOYOTA MOTOR CORP
发明人
ICHIKAWA SHOICHI
分类号
C23C14/30;C23C14/32
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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