| 发明名称 |
METALLIC SUBSTRATE FOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0265161(A) |
申请公布日期 |
1990.03.05 |
| 申请号 |
JP19880215271 |
申请日期 |
1988.08.31 |
| 申请人 |
NKK CORP |
发明人 |
KOSUGE SHIGECHIKA;KABASAWA MAKOTO;NAKADA KIYOKAZU |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C16/30;C23C16/32;C30B29/36;H01L23/14;H05K1/05 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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