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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0224547(U)
申请公布日期
1990.02.19
申请号
JP19880101470U
申请日期
1988.07.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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