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发明名称 DEVICE FOR NON- DESTRUCTIVE CONTROL OF QUARTZ ELEMENTS
摘要
申请公布号 BG46725(A1) 申请公布日期 1990.02.15
申请号 BG19880085957 申请日期 1988.11.04
申请人 VISSH MASHINNO-ELEKTROTEKHNICHESKI INSTITUT "V.I. LENIN" 发明人 GARNEV, KHRISTO K.;STAVREV, GEORGI A.;JORDANOV, RUMEN S.;MITEV, KANCHO D.;ILIEV, IVAJLO P.
分类号 B07C5/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 B07C5/28
代理机构 代理人
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