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发明名称
摘要
申请公布号	JPH026376(Y2)	申请公布日期	1990.02.15
申请号	JP19830201032U	申请日期	1983.12.28
申请人		发明人
分类号	G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28	主分类号	G01R1/073
代理机构		代理人
主权项
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