发明名称 THIN-FILM FIELD-EFFECT TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0230186(A) 申请公布日期 1990.01.31
申请号 JP19880180575 申请日期 1988.07.19
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;TAIYO YUDEN CO LTD 发明人 HAYASHI YUTAKA;YAMANAKA MITSUYUKI;YOSHIMI TAKASHI
分类号 H01L27/088;H01L21/336;H01L21/337;H01L21/338;H01L21/8234;H01L21/84;H01L29/43;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/808;H01L29/812 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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