发明名称 FREMGANGSMAADE TIL REAKTIV AFSAETTELSE AF ARSEN, ANTIOMON ELLER PHOSPHOR
摘要
申请公布号 DK364289(A) 申请公布日期 1990.01.26
申请号 DK19890003642 申请日期 1989.07.24
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 BOHLING, DAVID ARTHUR;MUHR, GREGORY THOMAS;ROBERTS, DAVID ALLEN
分类号 C30B25/14;C01B25/08;C03C17/22;C03C21/00;C07F9/50;C07F9/72;C07F9/90;C23C16/30;C30B29/40;C30B31/06;H01L21/205;(IPC1-7):C30B23/00;C03C17/06 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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