发明名称 LIQUID METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0221547(A) 申请公布日期 1990.01.24
申请号 JP19880170101 申请日期 1988.07.08
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 ARISAWA TAKESHI
分类号 H01J27/26;H01J37/08;H01J37/244;H01J37/317 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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