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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0215647(A)
申请公布日期
1990.01.19
申请号
JP19880165333
申请日期
1988.07.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAGAMINE TAKAKO
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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