| 发明名称 |
APPARATUS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH026382(A) |
申请公布日期 |
1990.01.10 |
| 申请号 |
JP19880143693 |
申请日期 |
1988.06.13 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
ITO HIROMI;YAMATO MITSUHIRO;NISHIKAWA CHIHIRO;TSUJI RYUICHI |
| 分类号 |
C30B15/14;C30B15/12;C30B30/04;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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