发明名称 |
TOTAL REFLECTION TYPE MIRROR FORMING METHOD FOR SURFACE EMISSION LASER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01313983(A) |
申请公布日期 |
1989.12.19 |
申请号 |
JP19880146196 |
申请日期 |
1988.06.13 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
TAKADO NOBUKAZU;YUASA TSUNAO |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01S5/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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