发明名称 TOTAL REFLECTION TYPE MIRROR FORMING METHOD FOR SURFACE EMISSION LASER
摘要
申请公布号 JPH01313983(A) 申请公布日期 1989.12.19
申请号 JP19880146196 申请日期 1988.06.13
申请人 NEC CORP 发明人 TAKADO NOBUKAZU;YUASA TSUNAO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01S5/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址