发明名称 SINGLE CRYSTAL GE FILM AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01309314(A) 申请公布日期 1989.12.13
申请号 JP19880140915 申请日期 1988.06.08
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 YOSHIDA MASASHI
分类号 H01L21/20;H01L21/203 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址
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