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发明名称 FORMATION OF ELECTRODE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH01283971(A) 申请公布日期 1989.11.15
申请号 JP19880115259 申请日期 1988.05.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HOSOKI KENJI
分类号 H01L29/812;H01L21/306;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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