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经营范围
发明名称
INSPECTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01280268(A)
申请公布日期
1989.11.10
申请号
JP19880109355
申请日期
1988.05.02
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
NAITO YUTAKA
分类号
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32;H01R33/76
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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