发明名称 COIL FOR ELECTRON BEAM DEFLECTION
摘要
申请公布号 JPH01272762(A) 申请公布日期 1989.10.31
申请号 JP19880099037 申请日期 1988.04.21
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 KATO MITSUO;NAGAI NAOYUKI;KAJINISHI KUNIYUKI
分类号 C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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