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发明名称
HOT CATHODE
摘要
申请公布号
JPH01272758(A)
申请公布日期
1989.10.31
申请号
JP19880098162
申请日期
1988.04.22
申请人
DENKI KAGAKU KOGYO KK
发明人
INO SHINJI;EBARA KENICHI;UMEZAWA HIROYUKI
分类号
C23C14/22;C23C14/24
主分类号
C23C14/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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