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发明名称
摘要
申请公布号 JPH01154629(U) 申请公布日期 1989.10.24
申请号 JP19880051630U 申请日期 1988.04.19
申请人 发明人
分类号 G03F1/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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