发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH01235348(A) |
申请公布日期 |
1989.09.20 |
申请号 |
JP19880062890 |
申请日期 |
1988.03.16 |
申请人 |
SEIKO INSTR & ELECTRON LTD |
发明人 |
NIWA HITOSHI;TAKADA RYOJI;KOJIMA YOSHIKAZU |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/8222;H01L27/08;H01L27/082 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|