发明名称 MANUFACTURE OF GA1-XALXAS EPITAXIAL WAFER
摘要
申请公布号 JPH01235328(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880062280 申请日期 1988.03.16
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 KIKUCHI YUKIO
分类号 H01L21/20;H01L21/208 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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