| 发明名称 |
Device fabrication by X-ray lithography utilizing stable boron nitride mask |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4868093(A) |
申请公布日期 |
1989.09.19 |
| 申请号 |
US19870045907 |
申请日期 |
1987.05.01 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY, AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
LEVY, ROLAND A. |
| 分类号 |
G03F1/00;C30B29/38;G03F1/14;G03F1/16;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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