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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01223732(A) 申请公布日期 1989.09.06
申请号 JP19880048824 申请日期 1988.03.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KURAKI TAKESHI
分类号 H01L21/302;H01G4/02;H01L21/205;H01L21/3065;H03H7/38 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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