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发明名称 VERFAHREN ZUR AUFBEREITUNG VON VERSCHLUSSMASSEN FUER DIE FERTIGUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD271400(A1) 申请公布日期 1989.08.30
申请号 DD19880314336 申请日期 1988.04.04
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "ANNA SEGHERS" NEUHAUS IM VEB KOMBINAT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 MATTHAEI,GUENTER,DD;MUELLER-FRID,GERHARD,DD;PABST,RUEDIGER,DD;GREINER,HEINRICH,DD;MEINEL,CHRISTOPH,DD;OTTO,JUERGEN,DD
分类号 H01L21/56;H01L23/18;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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