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发明名称 PROJECTION TYPE ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH01216528(A) 申请公布日期 1989.08.30
申请号 JP19880042793 申请日期 1988.02.25
申请人 NIKON CORP 发明人 MIZUTANI HIDEO;MORI SUSUMU;KIKUCHI TETSUO
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
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