发明名称 EVALUATION OF STRENGTH OF DAMAGE TO WAFER WITH DISTORTION
摘要
申请公布号 JPH01211937(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880036293 申请日期 1988.02.18
申请人 MITSUBISHI METAL CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 MORITA ETSURO;SAKURAI MARI;SHIMANUKI YASUSHI;SEKI HIDEO
分类号 G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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