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发明名称
EVALUATION OF STRENGTH OF DAMAGE TO WAFER WITH DISTORTION
摘要
申请公布号
JPH01211937(A)
申请公布日期
1989.08.25
申请号
JP19880036293
申请日期
1988.02.18
申请人
MITSUBISHI METAL CORP;JAPAN SILICON CO LTD
发明人
MORITA ETSURO;SAKURAI MARI;SHIMANUKI YASUSHI;SEKI HIDEO
分类号
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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