发明名称 SUBSTRATE MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01205555(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880030203 申请日期 1988.02.12
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 HANADA MASAZUMI;TAKEDA YOSHINOBU
分类号 H01L23/14 主分类号 H01L23/14
代理机构 代理人
主权项
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