| 发明名称 |
PRODUCTION OF TOOL COATED WITH THIN DIAMOND FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01201475(A) |
申请公布日期 |
1989.08.14 |
| 申请号 |
JP19880025654 |
申请日期 |
1988.02.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITO YUKIO;SATO YASUSHI;TANAKA HIDEAKI;MIYADERA HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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