发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01196160(A) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 JP19880019655 申请日期 1988.02.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 AKIOKA TAKASHI;WATANABE TOKUO;SAWAHATA YASUO;NAGANO TAKAHIRO;KAWAKAMI SUMIO
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L21/8228;H01L27/08;H01L27/082;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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