发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC ISOLATED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01191440(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880014598 申请日期 1988.01.27
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 OGINO NOBUYOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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